[发明专利]用于微光刻的投射物镜有效
| 申请号： | 200880109827.9 | 申请日： | 2008-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101815969A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 赫尔穆特·贝耶尔;海科·费尔德曼;约琴·赫茨勒;迈克尔·托特泽克 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于微光刻的投射物镜的组件11包括若干光学元件和光阑14。组件11位于朝向像的最后光学元件之前的光学元件是平凸透镜12，该平凸透镜的凸表面2b朝向物，其平表面2a朝向像。作为组件11的朝向像的最后光学元件，提供了光学终端元件17，其包括平板19。透镜12的平表面2b与光学终端元件17的平板19之间，即平板的物朝向表面处，以及终端元件17的平板的像朝向表面上，提供了相应的浸没液体13b或13a。因此，平板两侧与浸没液体13a和13b接触。通过这种构造，确保设置在像朝向侧上的浸没液体13a中的污染物不会影响平凸透镜12。不过，一旦终端元件17或终端元件17的平板19的成像性能由于污染或其它损害而变得不足时，可以容易地将其更换掉。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微光 投射 物镜 | ||
【主权项】：
一种用于微光刻的投射物镜，包括：至少一个光学组件(11)，包括多个光学元件，所述光学元件设置在物面和像面之间，其中所述光学组件(11)包括至少一个光学终端元件(17)，该光学终端元件设置成接近所述像面，在所述光学终端元件(17)的像朝向表面(17a)上设置有第一浸没液体(13a)，并在所述光学终端元件(17)的物朝向表面(17b)上设置有第二浸没液体(13b)，所述物朝向表面(17b)包括用于成像光进入到所述终端元件(17)中的第一表面部分(18)，所述像朝向表面(17a)包括用于成像光从所述终端元件(17)出射的第二表面部分(22)，所述光学终端元件(17)包括用于防止干涉辐射和/或散射辐射通过所述终端元件(17)的装置。
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