[发明专利]用于微光刻的具有遮挡光瞳的投射物镜有效
| 申请号： | 200880108261.8 | 申请日： | 2008-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101802717A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·克里默;奥雷利安·多多克;汉斯-于尔根·曼;托拉尔夫·格鲁纳 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/00;G02B17/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于微光刻的具有遮挡光瞳的投射物镜(10)包括：第一光学表面(S4)，其具有提供用于施加有用光的第一区域；和至少一个第二光学表面(S5)，其具有提供用于施加有用光的第二区域，有用光的束包络(SH)在第一区域和第二区域之间延展。在第一光学表面(S4)和第二光学表面(S5)之间布置至少一个管，该管在光传播方向的输入侧和输出侧开口并用于屏蔽散射光，所述管的壁在有用光的波长范围是不透明的，并且所述管在有用光的传播方向中至少在束包络(SH)的部分长度上展延并沿周边围绕束包络(SH)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微光 具有 遮挡 投射 物镜 | ||
【主权项】：
用于微光刻的具有遮挡光瞳的投射物镜，包括具有提供用于施加有用光的第一区域的第一光学表面(S4、S6)，和具有提供用于施加有用光的第二区域的至少一个第二光学表面(S5、S7)，在该投射物镜的操作期间，有用光的束包络(SH)在第一区域和第二区域之间延展，其特征在于，在光传播方向的输入侧和输出侧开口并用于屏蔽散射光的至少一个管(12；22；32、34)布置在第一光学表面(S4、S6)和第二光学表面(S5、S7)之间，所述管的壁在有用光的波长范围是不透明的，并且所述管在有用光的传播方向至少在所述束包络(SH)的部分长度上延展并沿周边围绕所述束包络(SH)。
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