[发明专利]低温泵系统无效
| 申请号： | 200880104554.9 | 申请日： | 2008-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101790644A | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | 冈田隆弘;荒井德光;青木一俊 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06;F04B37/08;F04B37/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘志强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种减小系统的成本和最小总功耗的低温泵系统。该低温泵系统包括分别配备有致冷器的多个低温泵(7a-7e)和用于将气体供应给所述致冷器的多个压缩机。所述压缩机包括充当主压缩机的差压控制压缩机(1a)和充当副压缩机的普通压缩机(6a-6c)。该低温泵系统也包括控制器(8)，该控制器控制差压控制压缩机(1a)的驱动，并且基于差压控制压缩机1a的驱动频率控制普通压缩机(6a-6c)的驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 系统 | ||
【主权项】：
一种低温泵系统，其包括分别配备有致冷器的多个低温泵和用于压缩气体并且将压缩气体供应给所述致冷器的多个压缩机，所述低温泵系统包括：至少一个主压缩机，其的驱动频率基于高压气体供应管与低压气体回收管之间的压差被控制；一个或多个副压缩机，其以预定驱动频率被驱动；以及控制器，其基于所述主压缩机的驱动频率单独地控制所述副压缩机的驱动以开始或停止操作。
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