[发明专利]研磨装置无效
| 申请号： | 200880023918.0 | 申请日： | 2008-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN101687304A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 高桥圭瑞;伊藤贤也;草宏明;关正也 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/08 | 分类号： | B24B21/08;B24B9/00;B24B21/16;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈 萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的研磨装置具备：研磨带(41)，具有研磨面；基板保持部(32)，保持基板(W)并使其旋转；加压垫(50)，将研磨带按压到基板保持部所保持的基板的坡口部上；以及研磨带进给机构(45)，使研磨带在其长度方向上行进。加压垫(50)具有：垫主体部(53)；板状的按压部(51)，具有隔着研磨带按压基板的坡口部的按压面(51a)和位于该按压面的相反侧的背面；以及多个连结部(52)，对按压部和垫主体部进行连结。按压部由硬质的塑料形成，在按压部的背面与垫主体部之间形成有空间(S)。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
1、一种研磨装置，其特征在于，具备：研磨带，具有研磨面；基板保持部，保持基板并使其旋转；加压垫，将上述研磨带按压到上述基板保持部所保持的基板的坡口部上；以及研磨带进给机构，使上述研磨带在其长度方向上行进；其中，上述加压垫具有：垫主体部；板状的按压部，具有隔着上述研磨带按压基板的坡口部的按压面和位于该按压面的相反侧的背面；以及多个连结部，对上述按压部和上述垫主体部进行连结；在上述按压部的上述背面与上述垫主体部之间形成有空间。
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