[发明专利]干涉仪促动器无效
| 申请号： | 200880020745.7 | 申请日： | 2008-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN101711341A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 波库·昂费达盛 | 申请（专利权）人： | 克莫麦特公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 韩龙;阎娬斌 |
| 地址： | 丹麦阿*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | 本发明涉及干涉仪的至少一个可动装置相对于干涉仪主体的移动。根据本发明的系统包括至少两个干涉仪促动器，所述干涉仪促动器能够被独立操作，从而使得至少两个促动器能够移动干涉仪的至少一个可动装置。当激励至少两个干涉仪促动器中的至少一个时，干涉仪的至少一个可动装置以矫正诸如倾斜的情况的最低需要移动。在优选配置中，根据本发明的系统和方法包括三个能够被独立操作的干涉仪促动器。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 促动 | ||
【主权项】：
一种用于干涉仪的至少一个可动装置相对于干涉仪主体移动的方法，包括：布置至少两个干涉仪促动器，其中所述至少两个干涉仪促动器能够被独立地操作，从而使得至少两个促动器能够移动干涉仪的至少一个可动装置；激励至少两个干涉仪促动器中的至少一个，从而移动干涉仪的至少一个可动装置。
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