[发明专利]干涉仪促动器

权利要求书

1.一种用于干涉仪的至少一个可动装置相对于干涉仪主体移动的方法，包括：

布置至少两个干涉仪促动器，其中所述至少两个干涉仪促动器能够被独立地操作，从而使得至少两个促动器能够移动干涉仪的至少一个可动装置；

激励至少两个干涉仪促动器中的至少一个，从而移动干涉仪的至少一个可动装置。

2.如权利要求1所述的方法，包括三个能够被独立操作的干涉仪促动器。

3.如权利要求1或2所述的方法，其中，能够被独立操作的至少两个干涉仪促动器包括至少一个压电促动器，优选地包括至少一个压电弯曲元件，更优选地包括双层弯曲元件。

4.如任一前述权利要求所述的方法，其中，能够被独立操作的至少两个干涉仪促动器包括至少一个线性促动器，优选地包括至少一个线性压电促动器，更优选地包括至少一个压电弯曲元件。

5.如权利要求3或4所述的方法，其中，通过施加导致至少两个压电促动器弯曲的电场激励至少两个压电促动器，所述弯曲导致所述至少一个可动装置相对于所述干涉仪主体移动。

6.如权利要求3-5之中任一权利要求所述的方法，其中，至少一个压电弯曲元件是盘形弯曲元件。

7.如任一前述权利要求所述的方法，其中，弯曲元件布置中的至少两个压电弯曲元件使得干涉仪的至少一个可动装置移动，其中以大体上相同的方式操作弯曲元件布置中的至少两个压电弯曲元件。

8.如权利要求7所述的方法，其中，干涉仪的至少一个可动装置相对于干涉仪主体移动的长度大体上与弯曲元件布置中的至少一个压电弯曲元件的行程长度相等。

9.如权利要求7或8所述的方法，其中，至少两个压电弯曲元件在设计和结构上大体上相同。

10.如权利要求3-9之中任一权利要求所述的方法，其中，任一压电弯曲元件与任意其他压电弯曲元件成一个角度布置，优选地相邻压电弯曲元件之间的角度大体上相等。

11.如权利要求7-10之中任一权利要求所述的方法，其中，所述弯曲元件布置中的至少两个压电弯曲元件布置在相同的弯曲元件支撑件上，以形成分段的弯曲元件，优选地能够独立地激励独立的弯曲元。

12.如权利要求11所述的方法，其中，弯曲元件的段是双层的段。

13.如权利要求11或12所述的方法，其中，弯曲元件支撑件大体上是圆形的。

14.如权利要求11-13之中任一权利要求所述的方法，包括三个独立的压电弯曲元件。

15.如权利要求11-14之中任一权利要求所述的方法，其中，以下述方式布置两个或更多个压电弯曲元件：对于所有弯曲元来说，从弯曲元件的定点到其动点的方向是平行的或者是径向排列的。

16.如权利要求11-15之中任一权利要求所述的方法，其中，以下述方式布置至少两个压电弯曲元件：对于所有弯曲元来说，从弯曲元件的定点到其动点的方向大体上不是径向排列的，优选地，方向大体上顺着螺旋形状。

17.如权利要求11-16之中任一权利要求所述的方法，还包括用于生产分段的弯曲元件的特征。

18.如权利要求17所述的方法，其中，弯曲元件支撑件是分段的，优选地由弯曲元的平行边界或径向边界限定段。

19.如任一前述权利要求所述的方法，其中，以串联的方式布置至少两个弯曲元件，优选地，弯曲元件的布置使得干涉仪的可动装置的移动大体上增加。

20.如权利要求11-18之中任一权利要求所述的方法，其中，以串联的方式布置至少两个分段的弯曲元件，优选地，弯曲元件的布置使得干涉仪的可动装置的移动大体上增加。

21.如任一前述权利要求所述的方法，其中，串联的至少两个压电弯曲元件和/或至少两个分段的弯曲元件的行程的总和大于500μm，优选地大于1000μm，更优选地大于2000μm。

22.如任一前述权利要求所述的方法，其中，以并联的方式布置至少两个弯曲元件，优选的这种布置使得干涉仪的可动装置的机械稳定性大体上增加，优选地使得抗震动和冲击的稳定性增加。