[发明专利]具有分离电极的静电卡盘无效
| 申请号： | 200880016940.2 | 申请日： | 2008-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101688295A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 朱利安·G·布雷克;岱尔·K·史东;留德米拉·史东;大卫·苏若恩 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01J37/20;H01L21/683;H01L21/687;H02N13/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种静电夹持装置及一种减少对耦接至静电夹持装置的工件造成污染的方法。根据一实施例，耦接工件的静电夹持装置包括位于本体的表面上的用以接触工件的浮雕部，以及位于所述本体内的至少两个电极，其中至少两个电极被所述浮雕部下方的分离部分开。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 分离 电极 静电 卡盘 | ||
【主权项】：
1、一种静电夹持装置，用于耦接工件，所述静电夹持装置包括：浮雕部，位于一本体的一表面上，用以接触工件；以及至少两个电极，位于所述本体内；其中所述至少两个电极被所述浮雕部下方的分离部分开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瓦里安半导体设备公司，未经瓦里安半导体设备公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880016940.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
