[发明专利]用于板状物件的超声波湿法处理的装置和方法

摘要

公开了一种用于板状物件的超声波湿法处理的方法及相关的装置，其包含：引进固体元件，其连接于靠近板状物件的表面的换能器，以使间隙形成于固体元件与板状物件之间，间隙具有介于0.1mm和15mm之间的距离d2；分配液体以填充固体元件与板状物件之间的间隙；检测超声波和/或控制距离d2，通过测量距离d2，比较所测出距离与所需距离d0，并据以调整距离。

主权项

一种用于板状物件的超声波湿法处理的装置，包含：固体元件，连接于换能器用于以超声波能量处理该板状物件，其中在该固体元件与该板状物件之间形成间隙，该间隙具有0.1mm和15mm之间的距离d2；液体分配装置，用于在处理时将液体引入该固体元件与板状物件之间的间隙中；用于控制距离d2的装置，该用于控制距离的装置包含用于测量距离d2的装置，用于比较所测出距离与所需距离d0的装置，及用于据此来调整该距离的距离调整装置。