[发明专利]用于确定离子束轮廓的方法和系统有效
| 申请号： | 200880014181.6 | 申请日： | 2008-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101675494A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·葛雷夫;约翰·叶;波·凡德尔贝格;迈克尔·克里斯托弗罗;黄永章 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的一个实施例涉及一种用于确定离子束轮廓的设备。所述设备包括：具有测量区的电流测量装置，其中，所述离子束的横截面区域进入所述测量区。所述设备还包括控制器，被配置为周期性地对所述离子束进行束电流测量，并通过将所述束电流测量与所述电流测量装置内的子区相关来确定所述离子束的二维轮廓。本发明还公开了其它设备和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 离子束 轮廓 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于确定离子束轮廓的设备，包括：具有测量区的电流测量装置，其中，所述离子束的横截面区域进入所述测量区；以及控制器，被配置为周期性地对所述离子束进行束电流测量，并通过将所述束电流测量与所述电流测量装置内的子区相关来确定所述离子束的二维轮廓。
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