[发明专利]使用具有表面改性材料的印模在基底上形成功能性材料的图案的方法无效
| 申请号： | 200880007309.6 | 申请日： | 2008-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101627336A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | G·B·布朗谢特;李喜现;G·D·杰科克斯 | 申请（专利权）人： | E.I.内穆尔杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在基底上形成功能性材料的图案的方法。所述方法使用具有浮雕结构和至少10兆帕的弹性模量的弹性印模，所述浮雕结构具有凸起表面。将表面改性材料施加到浮雕结构上并且在至少凸起表面上形成层。将功能性材料与液体的组合物施加到浮雕结构上的表面改性材料的层上并移除所述液体以形成薄膜。弹性印模将功能性材料从凸起表面转移到基底上，从而在基底上形成功能性材料的图案。所述方法适于制造用于电子器件和组件的微电路。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 具有 表面 改性 材料 印模 基底 形成 功能 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.在基底上形成功能性材料的图案的方法，所述方法包括：a)提供具有浮雕结构的弹性印模，所述浮雕结构具有凸起表面，所述印模具有至少10兆帕的弹性模量；b)将包含表面改性材料的第一组合物施加到所述浮雕结构上，以使第二组合物能够均匀施加；c)将包含所述功能性材料及液体的所述第二组合物施加到所述表面改性材料上；d)从所述浮雕结构上的第二组合物中充分移除所述液体，以便在至少所述凸起表面上形成所述功能性材料的薄膜；以及e)将所述功能性材料从所述凸起表面转移到所述基底上。
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