[实用新型]一种单驱动双运动的挡板机构有效
| 申请号： | 200820210863.1 | 申请日： | 2008-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN201334517Y | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 陈特超;禹庆荣 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马 强 |
| 地址： | 410111湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种单驱动双运动的挡板机构，用于离子束溅射镀膜机中基片的保护，包括密封座，其外端的支架后端装有气缸，密封座后部内轴孔中的内轴后端经联轴器同气缸的转轴联接；内轴与密封座内轴孔之间装有磁流密封件，外轴套装在内轴前部且该外轴的后端装在密封座前部的外轴孔中；第一支撑杆的两端分别同内轴的前端及第一半圆挡片连接，第二支撑杆的两端分别同外轴的前端及第二半圆挡片连接，两半圆挡片位于内轴或外轴一侧且可组成圆形挡板或重叠；内轴装有上端位于外轴的弧形槽内的拨销。它用一个驱动手臂实现挡板的折叠与转位，节省了真空室挡板使用空间，还减少了真空漏点，可节约成本、提升设备的整体性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 运动 挡板 机构 | ||
【主权项】：
1、一种单驱动双运动的挡板机构，包括用以安装在已有真空室专用接口(13)上并伸入真空室内的密封座(9)，固定在密封座(9)外端的支架(1)的后端装有气缸(10)，装在所述密封座(9)后部内轴孔中的内轴(2)后端经联轴器(11)同气缸(10)的转轴联接；其特征是，内轴(2)与密封座(9)内轴孔之间装有磁流密封件(14)，外轴(4)套装在内轴(2)前部且该外轴(4)的后端装在密封座(9)前部的外轴孔中；第一支撑杆(6)的两端分别同内轴(2)的前端及第一半圆挡片(8)连接，第二支撑杆(5)的两端分别同外轴(4)的前端及第二半圆挡片(7)连接，第一半圆挡片(8)和第二半圆挡片(7)位于所述内轴(2)或外轴(4)一侧且可在所述内轴(2)或外轴(4)的驱动下组成圆形挡板或重叠；内轴(2)上装有拨销(16)且该拨销(16)的上端位于外轴(4)的弧形槽(17)内。
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