[实用新型]高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔有效
| 申请号： | 200820183960.6 | 申请日： | 2008-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN201334434Y | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 谭逢桃;章旭;黄邦熊 | 申请（专利权）人： | 宸阳光电科技(厦门)有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李 宁 |
| 地址： | 361000福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔，设置在真空腔体的出口段，由铝型材框架、不锈钢外板、有机玻璃内板和保温石棉内衬组成，铝型材框架的前、后两面之间形成供厚玻璃进入保温的隔离空间，铝型材框架的左、右两面为供厚玻璃进、出隔离空间的进口和出口，铝型材框架的前、后两面上都嵌置有不锈钢外板和有机玻璃内板，前、后两面的有机玻璃内板都分为顶部、中部和底部，且底部的厚度大于中部的厚度，中部的厚度大于顶部的厚度，底部的内侧还增加保温石棉内衬。此结构可以改善高温直流磁控溅镀ITO工艺厚玻璃裂片问题，降低裂片率，提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 直流 磁控溅镀 ito 玻璃 保温 | ||
【主权项】：
1、高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔，其特征在于：设置在真空腔体的出口段，由铝型材框架、不锈钢外板、有机玻璃内板和保温石棉内衬组成，铝型材框架的前、后两面之间形成供厚玻璃进入保温的隔离空间，铝型材框架的左、右两面为供厚玻璃进、出隔离空间的进口和出口，铝型材框架的前、后两面上都嵌置有不锈钢外板和有机玻璃内板，前、后两面的有机玻璃内板都分为顶部、中部和底部，且底部的厚度大于中部的厚度，中部的厚度大于顶部的厚度，底部的内侧还增加保温石棉内衬。
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