[实用新型]高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔

说明书

技术领域

本实用新型涉及高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃的加工技术，尤其与厚玻璃的防裂保温塔结构有关。

背景技术

高温直流磁控溅镀ITO(氧化铟锡)工艺，是一种利用300～380℃高温条件下溅镀ITO薄膜到基材上的工艺。当基材为厚玻璃(厚度大于3mm)时，厚玻璃存储热量大，造成此玻璃出真空腔体后，厚玻璃表面温度仍然在150℃以上，在无尘室环境温度22℃环境下，玻璃受剧烈温差而极易破裂，裂片率高于50％，成品率低下。因此，该工艺确实有待改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔，以改善高温直流磁控溅镀ITO工艺厚玻璃裂片问题。

为了实现上述目的，本实用新型的解决方案是：

高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔，设置在真空腔体的出口段，由铝型材框架、不锈钢外板、有机玻璃内板和保温石棉内衬组成，铝型材框架的前、后两面之间形成供厚玻璃进入保温的隔离空间，铝型材框架的左、右两面为供厚玻璃进、出隔离空间的进口和出口，铝型材框架的前、后两面上都嵌置有不锈钢外板和有机玻璃内板，前、后两面的有机玻璃内板都分为顶部、中部和底部，且底部的厚度大于中部的厚度，中部的厚度大于顶部的厚度，底部的内侧还增加保温石棉内衬。

所述有机玻璃内板的底部与保温石棉内衬之间保留间隙，间隙大小为5毫米(mm)。

所述铝型材框架的前、后两面上仅在有机玻璃内板的底部外侧嵌置有不锈钢外板，即对应有机玻璃内板的顶部和中部形成用于观察厚玻璃的观察窗。

所述有机玻璃内板的顶部厚度为5mm，中部厚度为8mm，底部厚度为10mm，保温石棉内衬的厚度为10mm，铝型材框架的型材截面为40mm×40mm，不锈钢外板厚度为1mm。

采用上述方案后，本实用新型因为设置在真空腔体的出口段，当载有厚玻璃的台车从真空腔体出来后，停留在保温塔内缓冲2-3分钟，可以调节厚玻璃热温差，防止玻璃受剧烈温差而造成玻璃破裂，大大降低裂片率，提高成品率，从而改善高温直流磁控溅镀ITO工艺厚玻璃裂片问题。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型的侧视图；

图3是本实用新型的正视图。

具体实施方式

如图1至图3所示，是本实用新型揭示的较佳实施例及使用示意。

此高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔，是设置在真空腔体的出口段，由铝型材框架1、不锈钢外板2、有机玻璃内板3和保温石棉内衬4组成。

其中，铝型材框架1是由铝型材连接固定而成，且型材截面选择40mm×40mm为最佳。铝型材框架1的前、后两面之间形成供厚玻璃进入保温的隔离空间11。铝型材框架1的左、右两面为供厚玻璃进、出隔离空间11的进口12和出口13。

有机玻璃内板3嵌置在铝型材框架1的前、后两面上。前、后两面的有机玻璃内板3都分为顶部31、中部32和底部33，且底部33的厚度大于中部32的厚度，中部32的厚度大于顶部31的厚度。有机玻璃内板3的厚度具体可以设计为顶部5mm，中部8mm，底部10mm。

不锈钢外板2也嵌置在铝型材框架1的前、后两面上。为了便于观察厚玻璃的变化，此实施例仅在有机玻璃内板3的底部33外侧嵌置有不锈钢外板2，而在对应有机玻璃内板3的顶部31和中部32形成用于观察厚玻璃的观察窗21。不锈钢外板2的厚度具体可以设计为1mm。

保温石棉内衬4增设在有机玻璃内板3底部33的内侧。保温石棉内衬4与有机玻璃内板3的底部33之间最好保留5mm间隙。保温石棉内衬4的厚度具体可以设计为10mm。

本实用新型的保温原理：

1)从前到后，自封式形成隔离空间11：载有厚玻璃的台车进入保温塔后，台车前、后柱起到闭门作用，防止外界环境对厚玻璃从行进方向的剧烈热冲击。同时，由于不完全密封，厚玻璃热量可缓慢向外释放，以达到逐步降温目的。

2)从上到下，三段式保温设计：底部33用厚度为10mm有机玻璃且内侧贴附10mm保温石棉内衬4，确保保温石棉与厚玻璃距离约5mm，达到底部热量最大限度保留，实现底部玻璃热量减少最小；中部32用8mm有机玻璃，隔离外界环境对厚玻璃的侧面方向剧烈热冲击，通过底部玻璃起到类似底部保温石棉之作用；顶部31采用5mm有机玻璃，隔离外界环境对厚玻璃的侧面方向剧烈热冲击，通过中部和底部玻璃起到类似底部保温石棉之作用，同时，多于热量缓慢透过较薄的5mm有机玻璃向外释放。

试验证明，未采用本实用新型改善前：投入3.2mm厚玻璃100片，裂片55片，裂片率55％，采用本实用新型改善后：投入3.2mm厚玻璃100片，裂片2片，裂片率2％。