[实用新型]一种测量MgO外逸电子发射电流的装置

摘要

一种测量MgO外逸电子发射电流的装置，涉及一种利用金属网板构成的GEM装置测量MgO外逸电子发射电流的技术领域。本实用新型在真空腔体下底板的上方设置放大电流读出板，放大电流读出板上分别设置信号读出机构和读出板引出电极，下金属带孔板上连接下金属板引出电极，上金属带孔板上连接上金属带孔板引出电极，上下金属带孔板之间设置双锥形通孔的绝缘带孔板与金属孔匹配贴合，成为电子放大区，控制电子漂移间距支撑的上方设置前基板，前基板的下表面涂覆MgO膜层。本实用新型提供一种以将微小的MgO外逸电子发射电流在电场作用下放大，同时抑制MgO的二次电子发射，使检测到的电流能够比较准确地反映MgO的外逸电子发射电流。

主权项

1、一种测量MgO的外逸电子的发射电流的装置，其特征在于包括一个真空腔体(1)，真空腔体(1)下底板的上方设置放大电流读出板(8)，放大电流读出板(8)上分别设置信号读出机构(26)和读出板引出电极(27)，放大电流读出板(8)两侧的上方分别设置控制电子转移间距支撑(7)，控制电子转移间距支撑(7)的上方设置下金属带孔板(5)，下金属带孔板(5)上连接下金属板引出电极(19)，下金属带孔板(5)的上方设置具有双锥形通孔的绝缘带孔板(6)，绝缘带孔板(6)的上方设置上金属带孔板(4)，上金属带孔板(4)上连接上金属带孔板引出电极(18)，上金属带孔板(4)的上方设置控制电子漂移间距支撑(3)，控制电子漂移间距支撑(3)的上方设置前基板(2)，前基板(2)的下表面涂覆MgO膜层(12)，前基板(2)上连接前基板引出电极(11)。