[实用新型]环形振荡器式数字压力传感器无效
| 申请号： | 200820134701.4 | 申请日： | 2008-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN201273848Y | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 杨旸 | 申请（专利权）人： | 杨旸 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100080北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种环形振荡器式数字压力传感器，包括至少二电学参数一致的环形振荡器、一混频器和一滤波器构成，二环行振荡器分布设置在硅梁结构的应力敏感集中区，其中一个环行振荡器的源漏极平行于应力方向；另一个环行振荡器的源漏极和应力方向垂直；混频器设置在非应力敏感的厚体硅上，滤波器是片外集成的；二环形振荡器输出连接到混频器输入，混频器输出连接到滤波器输入，滤波器输出作为压力传感器的输出。所述环形振荡器采用PMOS工艺制作奇数个反相器首尾相连构成。所述混频器是双栅MOS晶体管混频电路。 | ||
| 搜索关键词： | 环形 振荡器 数字 压力传感器 | ||
【主权项】：
1. 一种环形振荡器式数字压力传感器，其特征在于：包括至少二电学参数一致环形振荡器、一混频器和一滤波器构成，二环行振荡器分布设置在硅梁结构的应力敏感集中区，其中一个环行振荡器的源漏极平行于应力方向；另一个环行振荡器的源漏极和应力方向垂直；混频器设置在非应力敏感的厚体硅上，滤波器是片外集成的；二环形振荡器输出连接到混频器输入，混频器输出连接到滤波器输入，滤波器输出作为压力传感器的输出。
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