[实用新型]一种带镶嵌结构的掩膜夹具无效
申请号: | 200820134698.6 | 申请日: | 2008-09-08 |
公开(公告)号: | CN201258356Y | 公开(公告)日: | 2009-06-17 |
发明(设计)人: | 张光信 | 申请(专利权)人: | 北京康特电子股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王昭林 |
地址: | 101318北京市顺义*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种掩膜夹具,该掩膜夹具包括上、下电极板和中间定位板,所述上、下电极板上分别设有电极孔,所述中间定位板上设有定位孔,上、下电极板的电极孔周围设有突起的平台,所述突起的平台探入所述定位孔之中。这样可以延长电极板的使用寿命,同时所形成的电极也是完整的,不易窜片造成电极偏心而形成不良品。 | ||
搜索关键词: | 一种 镶嵌 结构 夹具 | ||
【主权项】:
1. 一种掩膜夹具,该掩膜夹具包括上、下电极板和中间定位板,所述上、下电极板上分别设有电极孔,所述中间定位板上设有定位孔,其特征在于:上、下电极板的电极孔周围设有突起的平台,所述突起的平台探入所述定位孔之中。
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