[实用新型]微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片

摘要

一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，该二片式fθ镜片包括第一镜片和第二镜片，其中，第一镜片为一正屈光度新月形且凹面在微机电反射镜侧的镜片，第二镜片为一负屈光度新月形且凸面在微机电反射镜侧的镜片，其中第一镜片具有二个光学面，在主扫描方向至少有一个光学面为非球面所构成，第二镜片具有二个光学面，在主扫描方向至少有一个光学面为非球面所构成，主要用于将微机电反射镜反射之角度与时间呈非线性关系的扫描光线转换成距离与时间呈线性关系的扫描光线光点并修正聚光于目标物上，且第一镜片及第二镜片均满足特定的光学条件，以达成线性扫描效果与高分辨率扫描的目的。

主权项

1、一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，其适用于微机电激光扫描装置，该微机电激光扫描装置至少包含一用以发射光束的光源、一用以共振左右摆动将光源发射之光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及一用以感光的目标物；其特征是，从该微机电反射镜开始依序起算，该二片式fθ镜片包含一正屈光度新月形且凹面在该微机电反射镜侧的第一镜片及一负屈光度新月形且凸面在该微机电反射镜侧的第二镜片，其中该第一镜片具有一第一光学面及一第二光学面，该第一光学面与该第二光学面在主扫描方向至少有一个光学面为非球面所构成，用于将该微机电反射镜反射之角度与时间的非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间呈线性关系的扫描光线光点；其中该第二镜片具有一第三光学面及一第四光学面，该第三光学面与该第四光学面在主扫描方向至少有一个光学面为非球面所构成，用于将该第一镜片的扫描光线修正聚光于该目标物上；通过该二片式fθ镜片，使该微机电反射镜反射的扫描光线在该目标物上成像。