[实用新型]一种真空吸盘有效
| 申请号： | 200820110098.6 | 申请日： | 2008-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN201287284Y | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 葛钟;闫志瑞;库黎明;陈海滨;索思卓;张国栋;盛方毓;黄军辉 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种真空吸盘，它包括一截面为“凸”字形的圆柱体支架，一V型圈，一本体，截面为“凸”字形的圆柱体支架设一气流通道，本体为一中空通气管，于本体侧面设一突出端口，突出的端口中空并与本体通气管连通，本体侧面突出的端口插入截面为“凸”字形的圆柱体支架上的气流通道实现气流连通。本实用新型的优点：在吸取停留在机器狭窄腔体内的硅片时，避免普通真空吸盘无法与硅片表面完全平行接触，不能吸取硅片的弊端；也避免操作人员在取片过程中如果使用的力度、姿势不对，使得硅片在取出过程中碰撞到周围部件而造成硅片破碎。设置V型圈由软性橡胶材料制成，首先接触硅片能够起缓冲作用，避免吸盘吸附面对硅片表面造成划伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 吸盘 | ||
【主权项】：
1. 一种真空吸盘，其特征在于：它包括一截面为“凸”字形的圆柱体支架，一V型圈，一本体，截面为“凸”字形的圆柱体支架设一气流通道，本体为一中空通气管，于本体侧面设一突出端口，突出的端口中空并与本体通气管连通，本体侧面突出的端口插入截面为“凸”字形的圆柱体支架上的气流通道实现气流连通。
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