[实用新型]进气管喷嘴可调节的多晶硅还原炉无效
| 申请号： | 200820105592.3 | 申请日： | 2008-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN201232028Y | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 朱青松;蒋文武;王存惠 | 申请（专利权）人： | 徐州东南多晶硅材料研发有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221004江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 进气管喷嘴可调节的多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气进气管喷嘴、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质制成，以减少设备材质对产品的污染，每对电极分正、负极均匀的设置在底盘上，混和气进气管分为数个喷嘴均匀设置在底盘上，其特征是混和气进气管喷嘴为有外丝的喷气装置，通过螺丝连接在底盘有内丝的底盘进气口上，据生产需要调节混和气进气管喷嘴的高度或者更换内口径不同的喷嘴，优化混和气气体流场分布，以有利于多晶硅棒的生长。 | ||
| 搜索关键词： | 气管 喷嘴 调节 多晶 还原 | ||
【主权项】：
进气管喷嘴可调节的多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气进气管喷嘴、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质制成，每对电极分正、负极均匀的设置在底盘上，混和气进气管分为数个喷嘴均匀设置在底盘上，其特征是混和气进气管喷嘴为有外丝的喷气装置，通过螺丝连接在底盘有内丝的进气口上。
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