[实用新型]硅基电容式麦克风有效
申请号: | 200820095298.9 | 申请日: | 2008-07-04 |
公开(公告)号: | CN201226594Y | 公开(公告)日: | 2009-04-22 |
发明(设计)人: | 潘政民;王云龙;孟珍奎 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518057广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型有关一种硅基电容式麦克风,尤其涉及一种微机电系统(Micro-Electro-Machanicl-System,简称MEMS)麦克风,包括背极板、振膜以及集成电路板。本实用新型硅基电容式麦克风另在背极板周遭设置导电元件,该导电元件将振膜、背极板包围在其中,并电性连接到集成电路板上,这样可有效防止外界电磁干扰。 | ||
搜索关键词: | 电容 麦克风 | ||
【主权项】:
1. 一种硅基电容式麦克风,主要包括:背极板、与背极板相对设置的振膜、与振膜相对设置的集成电路板,其特征在于:振膜位于背极板与集成电路板之间,且三者之间相互绝缘,于背极板周围设置有导电元件,该导电元件将背极板、振膜包围在其中,并电性连接到集成电路板的相应电路。
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