[实用新型]一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构

摘要

一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构，包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板的上端和下端均安装在波纹管上，所述第二挡板的上端和下端均安装在波纹管上，波纹管具有密闭腔，密闭腔内设有拉簧，并且密闭腔与压缩气体进气管连通。由于波纹管具有伸缩能力，因此无需胶圈作为滑动密封，故跟机构可达到无泄露效果。

主权项

1. 一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构，包括第一挡板和第二挡板，其特征在于：所述第一挡板的上端安装在第一上波纹管上，所述第一挡板的下端安装在第一下波纹管上，所述的第一上波纹管与所述的第一下波纹管对称；所述第二挡板的上端安装在第二上波纹管上，所述第二挡板的下端安装在第二下波纹管上，所述的第二上波纹管与所述的第二下波纹管对称；所述第一上波纹管的头部设有第一上密封头，所述的第一密封上头与所述的第一上波纹管围成第一上密闭腔，所述的第一上密封头具有第一上压缩气体进气管，所述的第一上压缩气体进气管与所述的第一上密闭腔连通；所述第一下波纹管的头部设有第一下密封头，所述的第一密封下头与所述的第一下波纹管围成第一下密闭腔，所述的第一下密封头具有第一下压缩气体进气管，所述的第一下压缩气体进气管与所述的第一下密闭腔连通；所述第二上波纹管的尾部设有第二上密封头，所述的第二上密封头与所述的第二上波纹管围成第二上密闭腔，所述的第二上密封头具有第二上压缩气体进气管，所述的第二上压缩气体进气管与所述的第二上密闭腔连通；所述第二下波纹管的尾部设有第二下密封头，所述的第二下密封头与所述的第二下波纹管围成第二下密闭腔，所述的第二下密封头具有第二下压缩气体进气管，所述的第二下压缩气体进气管与所述的第二下密闭腔连通；还包括第一拉簧、第二拉簧、第三拉簧、第四拉簧，所述第一拉簧的前端和后端均连接在第一上波纹管上，所述第二拉簧的前端和后端均连接在第一下波纹管上，所述第三拉簧的前端和后端均连接在第二上波纹管上，所述第四拉簧的前端和后端均连接在第二下波纹管上。