[发明专利]一种具有长焦深的激光装置无效
| 申请号： | 200810302456.8 | 申请日： | 2008-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101620317A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 韦安琪;陈志隆 | 申请（专利权）人： | 富士迈半导体精密工业（上海）有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B17/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600上海市松江区松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种具有长焦深(Depth of Focus)的激光装置，其包括：一个激光源及一个光学模组。该激光源用于发射单波长紫外光。该光学模组包括一个与设置在该单波长紫外光光路上的第一光学元件，该第一光学元件具有一个邻近该激光源的第一表面及一个与该第一表面相对的第二表面，该第一表面与该第二表面中至少一者为非球面以用于使所述单波长紫外光会聚于一点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 焦深 激光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具有长焦深的激光装置，包括：一个激光源，其用于发射单波长紫外光；一个光学模组，其包括一个与设置在该单波长紫外光光路上的第一光学元件，该第一光学元件具有一个邻近该激光源的第一表面及一个与该第一表面相对的第二表面，该第一表面与该第二表面中至少一者为非球面以用于使所述单波长紫外光会聚于一点。
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