[发明专利]一种选择性太阳能吸收膜的连续制备方法

摘要

本发明属于太阳能设备领域，尤其是涉及一种以磁控溅射技术连续大规模制备太阳能光热转换的集热片选择性吸收复合膜层的方法。一种选择性太阳能吸收膜的连续制备方法，该方法包括基材的预处理和真镀制复合膜层，在金属薄板卷材上进行镀制多层复合膜层的过程是连续进行的，金属薄板卷材在收卷设备和放卷设备进行放卷和收卷的过程中，由设置在收卷设备和放卷之间的工艺室中对通过工艺室中的卷材进行多层复合膜层的镀制，与处理室和多个真空工艺室之间利用隔离装置进行隔离，使连续金属薄板卷材在连续通过预处理室和多个工艺室的过程中，本发明可以提供一种采用磁控溅射技术进行长时间连续生产太阳能吸收膜层的工艺方法，具有生产效率高产品质量稳定。

主权项

一种选择性太阳能吸收膜的连续制备方法，该方法中主要包括基材的预处理和真镀制复合膜层，所使用的镀膜基材为金属薄板卷材，其特征在于：在所述的金属薄板卷材上进行镀制多层复合膜层的过程是连续进行的，该金属薄板卷材在收卷设备和放卷设备进行放卷和收卷的过程中，由设置在上述收卷设备和放卷之间的工艺室中对通过工艺室中的卷材进行多层复合膜层的镀制过程，所述的与处理室和多个真空工艺室之间利用隔离装置进行隔离，使连续金属薄板卷材在连续通过预处理室和多个工艺室的过程中，各室之间形成相对独立且镀制条件不同的空间，具体工艺过程包括：(1)在收卷装置和放卷装置上安放金属薄板卷材，并使上述的卷材由预处理室和多个工艺室中通过；(2)打开真空泵在上述的预处理室和多个工艺室中制作不同的工艺真空条件：预处理室中真空度为10-2帕，工艺室为10-3帕；(3)同时运行将金属薄板带材通过收卷装置带动依次通过预处理室和多个真空室；(4)预处理室首先对通过的金属薄板带材进行离子刻蚀处理，将表面清洁和刻蚀，提高下一步中底层与金属薄板带材的结合力；(5)在完成离子刻蚀之后，依次通过真空室分别镀制多层复合膜层，通过上述的这些工艺过程之后，即可以在收卷装置上获得成卷的带有选择性吸收复合膜层的集热板芯基材。