[发明专利]利用全反射角的改变进行传感的折射率传感方法无效

专利信息
申请号: 200810240936.6 申请日: 2008-12-24
公开(公告)号: CN101762563A 公开(公告)日: 2010-06-30
发明(设计)人: 於丰;阚强;许兴胜;王春霞;刘宏伟;陈弘达 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种利用全反射角的改变进行传感的折射率传感方法,该方法包括:光从折射率为N的材料入射至折射率为n1的传感物质时,测出在不同入射角时的反射率,得到反射数据与曲线,其中N>n1;对反射率求角度微分,得到反射率角度微分数据与曲线,从反射率角度微分数据与曲线中提取出全反射角θ1;光从折射率为N的材料入射至折射率为n1+Δn的传感物质时,测出不同入射角时的反射率,得到反射数据与曲线,其中N>n1+Δn;对反射率求角度微分,得到反射率角度微分数据与曲线,从反射率角度微分数据与曲线中提取出全反射角θ2;根据公式Δn=N(sin(θ1)-sin(θ2))计算出折射率的变化。本发明实现起来简单,测试容易;能精确定出全反射角,提高了传感精度和灵敏度。
搜索关键词: 利用 反射角 改变 进行 传感 折射率 方法
【主权项】:
一种利用全反射角的改变进行传感的折射率传感方法,其特征在于,该方法包括:步骤1、光从折射率为N的材料入射至折射率为n1的传感物质时,测出在不同入射角时的反射率,得到反射数据与曲线,其中N>n1;步骤2、对反射率求角度微分,得到反射率角度微分数据与曲线,从反射率角度微分数据与曲线中提取出全反射角θ1;步骤3、光从折射率为N的材料入射至折射率为n1+Δn的传感物质时,测出不同入射角时的反射率,得到反射数据与曲线,其中N>n1+Δn;步骤4、对反射率求角度微分,得到反射率角度微分数据与曲线,从反射率角度微分数据与曲线中提取出全反射角θ2;步骤5、根据公式Δn=N(sin(θ1)-sin(θ2))计算出折射率的变化。
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