[发明专利]一种镍酸镧陶瓷靶的制备方法

摘要

本发明公开了一种镍酸镧陶瓷靶的制备方法，该发明首先使用柠檬酸法制得LNO凝胶，再将LNO凝胶干燥，研磨，冷压，预烧脱胶，烧结成型制成LNO陶瓷靶。本发明在制备LNO陶瓷靶的烧结步骤中，采用了在较低温度下(800℃左右)长时间烧结，使LNO陶瓷靶初期成型，然后在高温(950～1100℃)状态下进行短时间的烧结，可以防止LNO陶瓷靶的分解。另外，在高温状态下的短时间的烧结过程中，加入高压高纯氧环境，使LNO的分解反应不利于正向进行，可以大大的降低LNO分解的程度，用脉冲激光沉积(PLD)法制镍酸镧薄膜，效果良好。

主权项

一种镍酸镧陶瓷靶的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)镍酸镧(LNO)粉末制备①称取硝酸镧、硝酸镍，使摩尔比为1∶1，加入柠檬酸，混溶于去离子水中，搅拌并在80～100℃保持2～4小时，得到溶胶，然后将溶胶置于130～150℃中干燥10～12小时，得到干凝胶；②将干凝胶进行焙烧，焙烧温度由室温逐步升至750～800℃，然后自然降温至室温，碾磨得到LNO粉末；(2)靶片压制③将中的LNO粉末冷压成型，制成LNO陶瓷靶，压力为120～150兆帕；(3)烧结成靶④将制得的LNO陶瓷靶进行预烧脱胶，预烧温度由室温逐步升至650～800℃，然后自然降温至室温；⑤将脱胶的LNO陶瓷靶进行烧结，烧结方式为：将LNO陶瓷靶在常压、常气氛中750～800℃烧结24～48小时，然后在常压、常气氛中950～1100℃烧结1～2小时。