[发明专利]一种透射电镜荧光屏制备方法

摘要

一种透射电镜荧光屏制备方法，首先分别将荧光粉与粘结粉进行粒度选择，将得到的粉末烘干，按比例称量粉末并混合在一起，再按混合粉末与乙醇的比例，采用超声波分散法兼过滤法使混合粉末均匀分散到乙醇中得到混合悬浮液，倒入事先放入带有导电层和增透膜的衬底玻璃的沉积装置中，静置至所有的粉末沉积到底部，然后放流，使乙醇液缓慢滴出，待到衬底上的粉层干燥，形成发光粉层厚度为10-50um的荧光屏预沉组件，取出并置于防护罩内，并一同放入炉中烧结，待粘接料充分熔化使荧光粉颗粒间及其与衬底之间粘结在一起，形成牢固的荧光屏烧结组件。其可克服传统荧光屏制备加工的缺陷，使粉沉积的荧光屏质量提高，寿命延长，并解决了不好维护的问题。

主权项

一种透射电镜荧光屏制备方法，其特征在于方法步骤如下：a)首先，利用颗粒悬浮装置，采用自由重力沉降法分别将荧光粉与粘结料粉进行粒度选择，去除粒径大于4um的较粗颗粒和粒径小于0.2um的特细颗粒，为后面共沉淀作粒度准备；b)将得到的两种合适粒径的粉末分别烘干，按荧光粉与粘接粉的重量为5∶1～30∶1的比例称量，并按1克混合粉对1升乙醇的比例共同混合，采用超声波分散法，使二者均匀分散，形成悬浮液；c)采用过滤法将混合悬浮液进行过滤，除去混合悬浮液中无法采用重力沉降法除去的大颗粒或纤维及上述工序可能引入的轻质污染物颗粒或纤维；d)将过滤后的混合悬浮液马上倒入事先放入带有导电层和增透膜的衬底玻璃的沉积装置中，进行静置1-5日，直至所有的粉末沉积到底部，然后打开沉积装置的放流阀，使固液分离后的乙醇上清液缓慢滴出，并待到衬底上的粉层干燥，形成10-50um厚度的荧光屏预沉组件；e)小心将预沉组件取出，置于防护罩内，并将组件及防护罩轻轻放入马弗炉中，在400℃～550℃空气气氛下烧结，待粘接料充分熔化并将荧光粉与荧光粉及其与衬底之间粘结在一起，形成牢固的荧光屏烧结组件；f)将烧结组件置于本底真空度应低于10-2Pa的真空蒸镀室中蒸镀铝导电层，形成最终可以使用的透射电镜荧光屏。