[发明专利]一种测量激光等离子体光谱的方法

摘要

本发明是一种测量激光等离子体光谱的方法，其测量仪器包括激光器、透镜、烧蚀室、靶、透镜组、单色仪、Boxcar平均器、光信号触发器构成。其特征是测量激光与材料作用时产生的激光等离子体光谱，使光信号与电信号同步。发射光谱强度的时间分辨测定是通过某些特定波长的发射谱线，此时单色仪固定在某一波长上，沿着靶的法线方向移动单色仪，每一特定位置上的光强又用瞬态记录仪进行时间分辨测定。用F900eV数据采集板记录，它能够直接储存与多次平均所采集的信号，解决了测量等离子体的发光光谱问题。具有使用范围广、精缺度高的优点，具有广阔地应用前景。

主权项

1.一种测量激光等离子体光谱的方法，其测量仪器含有机械构件、光学元件和电子元件；主要包括激光器(1)、透镜(2)、烧蚀室(3)、靶(4)、透镜组(5)、单色仪(6)、Boxcar平均器(7)、光信号触发器(8)；激光器(1)发出的激光通过一个透镜(2)，经过石英窗进入烧蚀室，垂直聚焦到烧蚀室(3)内的一个可旋转的靶(4)，激光辐照靶的表面时，形成一个绿色为主的等离子体羽状发光体；在垂直于靶面的法线方向上，通过一对透镜(5)将等离子体羽状发光体放大3倍后，成像在单色仪(6)的狭缝上；输入Boxcar平均器(7)，通过光信号触发器(8)使光信号与电信号同步；发射光谱强度的时间分辨测定是通过某些特定波长的发射谱线，此时单色仪固定在某一波长上，沿着靶的法线方向移动单色仪，每一特定位置上的光强又用瞬态记录仪进行时间分辨测定；用F900eV数据采集板记录，它能够直接储存与多次平均所采集的信号。