[发明专利]基板保持装置及基板分离方法无效
| 申请号： | 200810213791.0 | 申请日： | 2008-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN101382414A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 井上勇辉 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板保持装置，其能够充分进行工作台和基板的接触面上的除电。利用来自设置于工作台表面的吸附槽(3)的吸引，将载置于工作台(2)的基板(w)进行真空吸附保持，在进行完规定的处理后，解除真空吸附，并且自设置于工作台表面侧的吹出口(7)将离子化气体吹送到基板(w)的背面进行除电。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 装置 分离 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基板保持装置，其特征在于，具备载置基板的工作台，在所述工作台的表面侧设置有向基板的背面吹送来自离子产生器的离子化气体而进行除电的吹出口。
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