[发明专利]检测可变电阻材料的方法有效
| 申请号： | 200810203219.6 | 申请日： | 2008-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN101738419A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 黄晓辉;季明华;宋立军;吴金刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/14 | 分类号： | G01N27/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种检测检测可变电阻材料的方法，包括，对可变电阻材料提供第一应力条件，使得所述可变电阻材料的阻值态跳变仅与热效应相关；保持第一应力条件，分别测量在多个温度下，所述可变电阻材料在单位时间内的阻值态跳变次数；根据所测量的多个单位时间内的阻值态跳变次数，检测所述可变电阻材料的热学稳定性；对所述可变电阻材料提供第二应力条件，使得所述可变电阻材料的阻值态跳变仅与电效应相关；保持第二应力条件，分别测量多个温度下，所述可变电阻材料达至阻值态切换所需的时间；根据所测量的多个达至阻值态切换所需的时间，检测所述可变电阻材料的陷阱能级情况。以获得较为准确的检测结果和特性描述。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 可变 电阻 材料 方法 | ||
【主权项】：
一种检测可变电阻材料的方法，其特征在于，包括：分别检测所述可变电阻材料的热学稳定性和陷阱能级情况，所述检测热学稳定性包括：对可变电阻材料提供第一应力条件，使得所述可变电阻材料的阻值态跳变仅与热效应相关；保持第一应力条件，分别测量在多个温度下，所述可变电阻材料在单位时间内的阻值态跳变次数；根据所测量的多个单位时间内的阻值态跳变次数，检测所述可变电阻材料的热学稳定性，所述检测陷阱能级情况包括：对所述可变电阻材料提供第二应力条件，使得所述可变电阻材料的阻值态跳变仅与电效应相关；保持第二应力条件，分别测量多个温度下，所述可变电阻材料达至阻值态切换所需的时间；根据所测量的多个达至阻值态切换所需的时间，检测所述可变电阻材料的陷阱能级情况。
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