[发明专利]硅铝混合物蒸镀材料无效
| 申请号： | 200810195904.9 | 申请日： | 2008-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN101665906A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 许士荣 | 申请（专利权）人： | 昆山光铭光电子元件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/24;G02B1/10 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215337江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅铝混合物蒸镀材料，按重量百分比计，它主要由下述组份组成：SiO2：72％～85％、Al2O3：10％～20％和Y2O3：5％～8％。将SiO2和Al2O3结合生成固溶体，具有良好的光学特性，结合Y2O3作为塑性剂，使材料的机械性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 混合物 材料 | ||
【主权项】：
1.一种硅铝混合物蒸镀材料，其特征是：按重量百分比计，它由下述组份组成：SiO2：72％～85％、Al2O3：10％～20％和Y2O3：5％～8％。
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