[发明专利]短程表面等离子体波与介质导波耦合结构及在传感上的应用有效
| 申请号： | 200810186418.0 | 申请日： | 2008-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN101556353A | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 刘仿;万锐媛;黄翊东;冯雪;张巍;彭江德;大西大;丹羽大介;三浦羲胜 | 申请（专利权）人： | 清华大学;罗姆公司 |
| 主分类号： | G02B6/24 | 分类号： | G02B6/24;G02B6/27;G01N21/45;G01N21/55 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王朋飞 |
| 地址： | 100084北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种短程表面等离子体波与普通介质导波混合耦合结构，包括介质衬底层；位于该介质衬底层上的介质波导层；位于该介质导波层上的耦合匹配层；以及形成于该耦合匹配层上的、用于传导短程表面等离子体波的短程表面等离子体波导部分。采用所述结构可实现高度集成的耦合器，起偏器，调制器以及超薄物质折射率的高灵敏度检测芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 短程 表面 等离子体 介质 导波 耦合 结构 传感 应用 | ||
【主权项】：
1、一种短程表面等离子体波与普通介质导波混合耦合结构，其特征在于，所述耦合结构包括：介质衬底层；位于该介质衬底层上的介质波导层；位于该介质导波层上的耦合匹配层；以及形成于该耦合匹配层上的、用于传导短程表面等离子体波的短程表面等离子体波导部分。
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