[发明专利]感应化学液体泄漏的装置和方法有效
| 申请号： | 200810161500.8 | 申请日： | 2008-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN101403860A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 金希锡;林泰权 | 申请（专利权）人： | 株式会社细美事 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 韩国忠清南*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种感应化学液体泄漏的装置和方法。用于感应化学液体泄漏的装置包括测量提供到处理室的化学液体流速的感应单元、使用测定的化学液体流速来判断是否发生化学液体泄漏并且产生控制信号的过程控制单元、和接收控制信号的输入并控制设备运转的设备控制单元。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 化学 液体 泄漏 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于感应化学液体泄漏的装置，包含：测量提供到处理室的化学液体流速的感应单元；使用测定的化学液体流速来判断是否发生化学液体泄漏和产生控制信号的过程控制单元；以及接收控制信号的输入并控制设备运转的设备控制单元。
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