[发明专利]一种硅基氧化锌双向直流紫外电致发光器件及其制备方法无效
| 申请号： | 200810122222.5 | 申请日： | 2008-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN101404313A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 陈培良;马向阳;李东升;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明的硅基氧化锌双向直流紫外电致发光器件，在n型硅衬底的正面自下而上依次沉积SiO2薄膜、ZnO薄膜、MgxZn1-xO(0＜x≤0.3)薄膜和半透明电极，在硅衬底背面沉积欧姆接触电极。制备步骤依次为：用电子束蒸发或等离子体增强化学气相沉积法在清洗的n型硅片上生长SiO2薄膜；用直流反应磁控溅射或溶胶-凝胶法在SiO2薄膜上生长ZnO薄膜并在氧气氛下进行热处理；用直流反应磁控溅射或溶胶-凝胶法在ZnO薄膜上生长MgxZn1-xO薄膜；在MgxZn1-xO薄膜和硅衬底背面分别溅射半透明电极和欧姆接触电极。本发明的硅基氧化锌双向直流紫外电致发光器件结构简单，在直流正向和反向偏压下均可产生紫外电致发光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 双向 直流 紫外 电致发光 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅基氧化锌双向直流紫外电致发光器件，其特征是在硅衬底(1)的正面自下而上依次沉积有SiO2薄膜(2)、ZnO薄膜(3)、MgxZn1-xO薄膜(4)、0＜x≤0.3，和半透明电极(5)，在硅衬底背面沉积有欧姆接触电极(6)。
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