[发明专利]液位沉降法制备薄膜的装置无效
| 申请号： | 200810116407.5 | 申请日： | 2008-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN101623682A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 武光明;王怡;朱江;唐文;张菲菲;韩彬;江伟 | 申请（专利权）人： | 北京石油化工学院 |
| 主分类号： | B05C3/02 | 分类号： | B05C3/02;B05C3/109;B05D1/18 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 102617北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种液位沉降法制备薄膜的装置，该装置包括：容器、加热板、储液器和管路，其中，所述容器为方形扁平结构，容器上设有输液口，所述容器通过输液口经管路与储液器连通；所述容器上设有加热板，所述加热板与容器内放置制膜的基板的位置相对应，用于薄膜的干燥和退火。该装置结构简单，由于采用方形扁平结构的容器，减少了用液量，有效降低了制备薄膜的成本，并且通过控制液位的沉降，可以方便的制备所需的薄膜，而基板不用动，装置可任意角度倾斜，使一次性镀膜厚度可控，加快了制备薄膜时间。 | ||
| 搜索关键词： | 沉降 法制 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
1、一种液位沉降法制备薄膜的装置，其特征在于，该装置包括：容器(21)、加热板(22)、储液器(24)和管路(23)，其中，所述容器(21)为方形扁平结构，容器上设有输液口(211)，所述容器(21)通过输液口(211)经管路(23)与储液器(24)连通；所述容器(21)上设有加热板(22)，所述加热板(22)与容器(21)内放置制膜基板(25)的位置相对应。
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