[发明专利]液位沉降法制备薄膜的装置

权利要求书

1.一种液位沉降法制备薄膜的装置，其特征在于，该装置包括：

容器(21)、加热板(22)、储液器(24)和管路(23)，其中，所述容器(21)为方形扁平结构，容器上设有输液口(211)，所述容器(21)通过输液口(211)经管路(23)与储液器(24)连通；所述容器(21)上设有加热板(22)，所述加热板(22)与容器(21)内放置制膜基板(25)的位置相对应；

所述储液器(24)包括：储液容器(241)和双向输液泵(242)，双向输液泵(242)的出液口与储液容器(241)连通，双向输液泵(242)的进液口作为储液器(24)的入口。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述双向输液泵为电动双向输液泵。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

容器倾角调节器(28)，其上设置调节设置的容器的多个定位卡件(27)。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述的容器倾角调节器(28)为扇形平板结构，在该容器倾角调节器(28)的一面上均匀设置多个定位卡件(27)和一个放置所述容器的活动卡座(26)。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述容器倾角调节器上与多个定位卡件对应设有倾角角度标识。

6.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述容器还包括：气体注入口(201)，用于与提供干燥保护气体的气体装置连接。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的装置，其特征在于，还包括：容器调节器，设置在所述容器内，用于调节容器容积的大小。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述容器调节器为与所述容器内部容置空间匹配的方形扁平结构容器。

9.根据权利要求1～2中任一项所述的装置，其特征在于，所述加热板为红外加热板或电加热板，设置在的所述容器的一侧壁上，该红外加热板的加热面对应所述容器内放置基板的位置。