[发明专利]基于激光反馈干涉的微光机电加速度计

摘要

本发明公开了一种基于激光反馈干涉的微光机电加速度计，所述加速度计由上检测组件(1)、加速度敏感件(2)、下检测组件(3)组成，加速度敏感件(2)放置于上检测组件(1)与下检测组件(3)中间；且上检测组件(1)与下检测组件(3)结构相同。该加速度计由于采用激光反馈干涉技术，故加速度计结构简单，为进一步减少加速度计的尺寸和重量，对加速度计所需部件的空间分布做了优化设计。在本发明中利用微加工技术加工加速度敏感件、微光学反射镜等结构，同时将光源、光电探测器、光束准直器等器件集成在一起，利用键合工艺实现多层组装和封装，从而满足加速度计在精度、可靠性、小型化、使用寿命等方面的要求。

主权项

1、一种基于激光反馈干涉的微光机电加速度计，其特征在于：所述加速度计由上检测组件(1)、加速度敏感件(2)、下检测组件(3)组成，加速度敏感件(2)放置于上检测组件(1)与下检测组件(3)中间；且上检测组件(1)与下检测组件(3)结构相同；所述加速度敏感件(2)是在一基板(201)上通过微加工刻蚀技术在其中心位置形成有敏感质量块(202)，在敏感质量块(202)的四周分别形成有A悬臂梁(21)、B悬臂梁(22)、C悬臂梁(23)、D悬臂梁(24)、E悬臂梁(25)、F悬臂梁(26)、G悬臂梁(27)、H悬臂梁(28)；A悬臂梁(21)、B悬臂梁(22)、C悬臂梁(23)和D悬臂梁(24)结构相同，臂长有0.5～5mm，臂宽有0.1～1mm；E悬臂梁(25)、F悬臂梁(26)、G悬臂梁(27)和H悬臂梁(28)结构相同，臂长有0.5～5mm，臂宽有0.1～1mm；所述上检测组件(1)包括有一A基体(101)、A微光学反射镜(11)、A光束准直器(12)、A半导体激光器(13)、A信号检测电路板(14)、A探测器(15)，在A基体(101)的中心位置开设有A腔体(103)，在A腔体(103)的腔体底面板(104)上从左至右安装有A微光学反射镜(11)、A信号检测电路板(14)，A信号检测电路板(14)上除了电子元器件组成的信号检测电路之外，还从左至右地安装有A光束准直器(12)、A半导体激光器(13)、A光电探测器(15)，且A准直器(12)、A半导体激光器(13)和A光电探测器(15)安装在A信号检测电路板(14)上的中心轴线重合；所述下检测组件(3)包括有一B基体(301)、B微光学反射镜(31)、B光束准直器(32)、B半导体激光器(33)、B信号检测电路板(34)、B探测器(35)，在B基体(301)的中心位置开设有B腔体(303)，在B腔体(303)的腔体底面板(304)上从左至右安装有B微光学反射镜(31)、B信号检测电路板(34)，B信号检测电路板(34)上除了电子元器件组成的信号检测电路之外，还从左至右地安装有B光束准直器(32)、B半导体激光器(33)、B光电探测器(35)，且B准直器(32)、B半导体激光器(33)和B光电探测器(35)安装在B信号检测电路板(34)上的中心轴线重合；在B基体(301)的一侧面设有B接口(302)。