[发明专利]化学液体定容积装置无效
申请号: | 200810095243.2 | 申请日: | 2008-05-05 |
公开(公告)号: | CN101574674A | 公开(公告)日: | 2009-11-11 |
发明(设计)人: | 黎源欣 | 申请(专利权)人: | 亚泰半导体设备股份有限公司 |
主分类号: | B01L3/02 | 分类号: | B01L3/02 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郭鸿禧;张 军 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种化学液体定容积装置,该化学液体定容积装置包括本体、微细管和高度感测器,本体具有第一容纳空间,本体的顶端具有化学液体输入通道。微细管位于本体的顶端外而与第一容纳空间相导通,该微细管具有第二容纳空间和溢出管。高度感测器连接在微细管壁上。其中,化学液体通过化学液体输入通道进入第一容纳空间中,该化学液体充满第一容纳空间而溢入第二容纳空间,至高度感测器的预定的液面高度,得到已知的预设化学液体的体积。 | ||
搜索关键词: | 化学 液体 容积 装置 | ||
【主权项】:
1、一种化学液体定容积装置,包括:本体,具有第一容纳空间,所述本体的顶端具有化学液体输入通道;微细管,位于所述本体的顶端外而与所述第一容纳空间相导通,且所述微细管上具有刻度,所述微细管具有第二容纳空间和溢出管,所述溢出管位于所述微细管的一端;其中,当化学液体由所述化学液体输入通道进入所述第一容纳空间时,使所述化学液体充满所述第一容纳空间,而溢入所述第二容纳空间至所述微细管上预定的所述刻度,当所述化学液体过量时通过所述溢出管泄出。
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