[发明专利]显示装置的栅极驱动电路以及制作显示装置的器件的方法有效

专利信息
申请号: 200810095225.4 申请日: 2008-05-05
公开(公告)号: CN101266951A 公开(公告)日: 2008-09-17
发明(设计)人: 蔡东璋;张立勋;石明昌;陈静茹;曾贵圣 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: H01L21/84 分类号: H01L21/84;H01L21/336;H01L21/28;H01L27/12;H01L29/786;H01L29/06;G03F7/00;G02F1/1362;G09G3/20
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 任默闻
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种显示装置的栅极驱动电路以及制作显示装置的器件的方法。该方法依序形成一绝缘层、一半导体层、一欧姆接触层、第二导电层与一光刻胶图案,其中该光刻胶图案包括第一厚度区,以及第二厚度区位于该第一厚度区的外围,且该第二厚度区的厚度小于该第一厚度区的厚度。该驱动电路则包括一具有下拉晶体管的栅极驱动电路结构,其设于一周边区内,该下拉晶体管包括一栅极、一半导体岛状结构、一源极与一漏极,且该半导体岛状结构是突出于该栅极、该源极与该漏极的边缘。本发明的方法是利用具有不同厚度的光刻胶图案进行微影与刻蚀制造工艺加以制作,故其所形成的显示装置的器件较不会有金属图案损失的问题。
搜索关键词: 显示装置 栅极 驱动 电路 以及 制作 器件 方法
【主权项】:
1.一种制作显示装置的器件的方法,该方法包括:提供一基板;于该基板上形成第一导电层;图案化该第一导电层,以形成第一导电结构;以及依序于该第一导电结构上形成一绝缘层、一半导体层、一欧姆接触层、第二导电层与一光刻胶图案,其中该光刻胶图案包括第一厚度区,以及第二厚度区位于所述的第一厚度区的外围,且该第二厚度区的厚度小于所述的第一厚度区的厚度。
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