[发明专利]具有恒定接触力的振动扫描探针有效
| 申请号： | 200810090086.6 | 申请日： | 2008-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101281011A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | P·乔迪尔;B·彼得森;S·努特 | 申请（专利权）人： | 六边形度量衡股份公司 |
| 主分类号： | G01B5/012 | 分类号： | G01B5/012;G01B21/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 瑞典纳卡*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用扫描探针(2)对工件表面进行扫描的方法，所述扫描探针(2)安装在坐标测量机(4)上的支撑件(3)上。支撑件包含驱动装置(5、7)，用于致动扫描探针(2)相对于支撑件(3)的运动。所述方法进一步包括：检测装置(9)，其测量施加在探针末梢(10)和表面(1)之间的接触力F；控制装置(13)，其连接到驱动装置；和存储装置(14)，其用于存储表面的理论轮廓(19)和坐标(20)。该方法的特征在于：控制装置(13)沿着扫描路径(18)调节驱动装置(5、7)的致动，以便在沿着扫描路径(18)的整个扫描操作期间将接触力(11)保持在预定数值范围(15)内。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 恒定 接触 振动 扫描 探针 | ||
【主权项】：
1、一种使用扫描探针对工件表面进行扫描的方法，所述扫描探针安装在坐标测量机上的支撑件上，所述支撑件包含一个或多个驱动致动器用于致动所述扫描探针相对于所述支撑件的运动，控制单元连接到所述驱动致动器，存储器用于存储所述表面的理论轮廓和坐标，所述方法包括如下步骤：(i)确定施加在所述扫描探针的末梢和所述表面之间的接触力的第一数值范围；(ii)操作所述驱动致动器，以定位与所述表面相接触的所述末梢；(iii)操作所述定位机，以使所述支撑件沿确定轨迹运动；(iv)操作所述驱动致动器，从而形成所述扫描探针相对所述支撑件的相对运动，这与所述支撑件相对于所述表面的相对运动是同时发生的；藉此，所述控制单元沿着扫描路径调节所述驱动致动器的致动，以便在沿着所述扫描路径的整个扫描操作期间，将所述接触力保持在所述第一数值范围内。
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