[发明专利]用于平板显示器薄膜沉积的掩模框架组件和使用该组件的沉积设备有效
| 申请号： | 200810089856.5 | 申请日： | 2008-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101280411A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 金善浩;鲁硕原 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陆弋;朱登河 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种用于平板显示器的薄膜沉积的掩模框架组件及使用该组件的沉积设备，包括设置有具有多个开口的图样部分的图样掩模；与图样掩模的下边缘部分连接以支撑图样掩模的第一框架；和沿水平或竖直方向与第一框架连接的第二框架。用于薄膜沉积的掩模框架组件安装到沉积设备，所述沉积设备用于沉积有机发光显示器的有机发射层，从而在基底上沉积薄膜的特定图样。此时，第二框架由质量小于形成第一框架的SUS或因瓦材料的质量的金属和合金之一形成，从而实现用于薄膜组件的轻质掩模框架组件。因此，可以易于搬运用于薄膜组件的轻质掩模框架组件，并减少设置在沉积设备中的运输设备的重量载荷，从而提高生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 平板 显示器 薄膜 沉积 框架 组件 使用 设备 | ||
【主权项】：
1、一种用于平板显示器的膜沉积的掩模框架组件，包括：图样掩模，其设置有包括多个开口的图样部分；第一框架，其与所述图样掩模的下边缘部分连接以支撑所述图样掩模；和第二框架，其沿水平或竖直方向与所述第一框架连接。
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