[发明专利]探针卡用台车和使用该台车的探针卡的操作方法有效
| 申请号： | 200810086982.5 | 申请日： | 2008-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101354428A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 长坂旨俊 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针卡用台车和使用该台车的探针卡的操作方法，在检查装置上安装探针卡之后，不需要预热，能够缩短对应于预热时间的检查时间。本发明的探针卡用台车(20)在搬送进行高温检查或低温检查的检查装置中使用的探针卡(6′)时使用，包括：装卸自由地安装探针卡(6′)的台座(21A)；和将安装在该台座(21A)上的探针卡(6′)加热至晶片的检查所要求的规定的温度(例如100℃)的温度调节机构(22)。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 台车 使用 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡用台车，其搬送在进行高温检查或低温检查的检查装置中使用的探针卡，其特征在于，包括：装卸自由地安装所述探针卡的台座；和将安装在该台座上的所述探针卡加热或冷却至所述被检查体的检查所要求的规定的温度的温度调节机构。
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