[发明专利]圆盘状基板的制造方法无效
| 申请号： | 200810085456.7 | 申请日： | 2008-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN101269471A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 羽根田和幸;藤波聪;城之内武 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社;西铁城精密株式会社 |
| 主分类号： | B24B7/24 | 分类号： | B24B7/24;B24B55/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林;李艳艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种圆盘状基板的制造方法，利用该圆盘状基板的制造方法能够以低廉的设备费用来实现良好的除尘环境，并在该良好的除尘环境中制造出高精度的圆盘状基板。在利用磨削装置(110)和研磨装置(111)对圆盘状基板进行磨削和研磨的工序中，从顶棚(120)向地板面产生气流，在设置有该磨削装置(110)和研磨装置(111)的同一平面中，在地板面上设置由开设有贯通孔(131)的板形成的多孔地板(130)，使水流入该多孔地板(130)的下部，从而借助于来自顶棚(120)的气流将由磨削装置(110)和研磨装置(111)产生的粉尘导入水中。 | ||
| 搜索关键词： | 圆盘 状基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种圆盘状基板的制造方法，其特征在于，在利用磨削装置对圆盘状基板进行磨削的工序中从上方朝下方产生气流，地板具有上侧地板面和下侧地板面，该上侧地板面由开设有贯通孔的板以及网状部件中的任一种构成，该下侧地板面将所述上侧地板面支撑在向上离开的位置上，在所述地板的所述上侧地板面上设置所述磨削装置，并在该下侧地板面上配置水，借助于所述气流将所述磨削装置产生的粉尘导入所述水中。
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