[发明专利]圆盘状基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及例如磁记录介质用玻璃基板等圆盘状基板的制造方法等。

背景技术

随着作为记录介质的需要的提高，近年来，作为圆盘状基板的盘式基板的制造也活跃起来。作为这种盘式基板之一的磁盘基板，广泛使用铝基板和玻璃基板。这种铝基板在加工性高且价格低廉这方面具有特长，而玻璃基板在强度、表面的平滑性、平坦性优良这方面具有特点。尤其是最近，盘式基板的小型化和高密度化的要求显著增高，从而对减小基板表面的粗糙度并可实现高密度化的玻璃基板的关注度变高了。

在制造这种磁盘基板时，在磨削工序和研磨工序中使磨削、研磨条件适宜来提高基板的平滑性、平坦性是重要的，然而近年来，除了这种使磨削、研磨条件适宜之外，制造工序中的环境也被认为很重要。作为公报记载的现有技术，应对在基板的最终研磨后大气中的灰尘附着在基板的表面上所产生的质量问题，存在着在清洁室(clean room)内用水溶液进行冲洗的同时实施最终精研磨的技术(例如，参照专利文献1。)。

另外，作为另一公报记载的技术，存在有这样的技术：以防止在研磨工序中在空气中浮游的颗粒(particle)附着到基板上为目的，在大气中进行磨削工序，并在清洁室(无尘室)中进行研磨工序以及其后的工序(例如，参照专利文献2。)。

专利文献1：日本特开平9-288820号公报

专利文献2：日本特开2001-250226号公报

此处，想要防止在大气中浮游的颗粒附着到基板上这个课题一直以来都存在。因此，在现有技术中，通过将颗粒的附着会成为问题的工序在清洁室内进行来加以应对。但是，当将颗粒的附着会成为问题的全部工序都在清洁室中进行时，会给清洁室的设备建设和设备的维护管理造成庞大的费用，所以会导致原始成本(初期投资费用)增大，并且制造成本也会增大。尤其是在制造作为最尖端技术的磁盘基板时，产品的更新换代速度也快，设备所需的成本对产品的影响变得非常大。

另外，在制造磁盘基板时，在每一道制造工序中应除去的具体颗粒是不同的。例如在磨削工序和初期的研磨工序中，虽然是程度比较大的除去作业但几乎不会给产品带来不良影响。而在完全不采取对策的情况下，例如在大气中浮游的颗粒会附着在磁盘基板的表面，或者例如在大气中浮游的颗粒会混入到研磨液中，从而使基板表面的平滑性变差。因而，不想进行像清洁室那样的庞大的设备投资，而强烈期望可利用简易的设备进行良好的除尘。

发明内容

本发明就是为了解决以上这样的技术课题而完成的，其目的在于能够以低廉的设备费用实现良好的除尘环境，并在该良好的除尘环境中制造出高精度的圆盘状基板。

为了达到所述目的，应用本发明的圆盘状基板的制造方法的特征在于，在利用磨削装置和/或研磨装置对圆盘状基板进行磨削和/或研磨的工序中，从上方朝下方产生气流，地板具有上侧地板面和下侧地板面，该上侧地板面由开设有贯通孔的板以及网状部件中的任一种构成，该下侧地板面将上侧地板面支撑在向上离开的位置上，在地板的上侧地板面上设置磨削装置和/或研磨装置，并在该下侧地板面上配置水，借助于气流将磨削装置和/或研磨装置产生的粉尘导入水中。

此处，如果特征在于该上侧地板面是在金属板上连续地开设有贯通孔的板条板(lath)，则除了将气流导入到下侧地板面的效果之外，在能够良好地保持现场的作业性方面也是优选的。

另外，如果特征在于配置在该下侧地板面上的水，在上侧地板面的下方形成水流，则能够利用该水流将含有颗粒的水从除尘环境中除去。

另外，如果特征在于磨削和/或研磨用的配管和配线中的任一方都在比磨削装置和/或研磨装置的加工区域靠近下方的位置从装置壳体突出，则与不采用本结构的情况相比，能够减轻堆积在配管和配线的任一方上的粉尘下落对加工的影响。

并且，如果特征在于该上侧地板面也设置在作业人员操作磨削装置和/或研磨装置的作业区域中，随着气流吹到磨削装置和/或研磨装置上而在作业区域中产生气流并将粉尘导入水中，则不仅在装置部分在作业区域中都能够以低成本实现良好的除尘环境。

根据构成为以上所述那样的本发明，与不采用这些结构的情况相比，能够以更加低廉的设备费用实现更加良好的除尘环境。

附图说明

图1A～图1H是表示应用本实施方式的圆盘状基板(盘式基板)的制造工序的图。

图2是表示应用本实施方式的除尘环境的图。

图3A、图3B是表示除尘环境中的多孔地板和耐水地板的图。

标号说明