[发明专利]薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻液组合物有效
| 申请号： | 200810085047.7 | 申请日： | 2008-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN101265579A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 郑锺铉;朴弘植;洪瑄英;金俸均;李智鲜;李炳珍;李骐范;曺三永;具炳秀;申贤哲;徐源国;朴贵弘;河泰成 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰;赵冬梅 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻液组合物。本发明提供一种优异的蚀刻液，其保障了高的稳定性和工程裕度，能够对含铜的金属层均匀地进行锥角蚀刻。本发明涉及对液晶显示装置的电路图案中使用的铜配线进行蚀刻的蚀刻液组合物。本发明的蚀刻液组合物含有过硫酸铵和吡咯系化合物。本发明的蚀刻液组合物不含有过氧化氢，所以能够确保稳定性和工程上的裕度，具有能够得到优异的锥角蚀刻轮廓的特征。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 液晶 显示装置 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
1、一种蚀刻液组合物，其特征在于，其含有0.1重量％～50重量％过硫酸铵和0.01重量％～5重量％唑系化合物。
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