[发明专利]层压体、和使用它的接枝膜形成方法及接枝图案的形成方法无效
| 申请号： | 200810084618.5 | 申请日： | 2008-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101266408A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 松下泰明 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F1/00;H01L21/00;C23C28/00;H05K3/10 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 耿小强 |
| 地址： | 日本东京都港*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种层压体、和使用它的接枝膜形成方法及接枝图案的形成方法，具体地说，是涉及一种在高敏感度下生成接枝聚合物的层压体、和使用该层压体在高敏感度下形成接枝膜或接枝图案的方法。所述层压体的特征在于依次具有基材、聚合引发层、接枝聚合物前体层，所述聚合引发层通过在上述基材上化学键合具有自由基聚合引发部位和可以直接化学键合到该基材上的部位的化合物来获得，所述接枝聚合物前体层含有具有能自由基聚合的不饱和部位的化合物、和能通过加热或曝光产生自由基的化合物，对该层压体进行全面曝光或图像状曝光，在上述聚合引发层表面上直接键合上述具有能自由基聚合的不饱和部位的聚合物，使其生成接枝聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 层压 使用 接枝 形成 方法 图案 | ||
【主权项】：
1、一种层压体，其特征是依次具有基材、聚合引发层、接枝聚合物前体层，所述聚合引发层通过在上述基材上化学键合具有自由基聚合引发部位和可以直接化学键合到该基材上的部位的化合物来获得，所述接枝聚合物前体层含有具有自由基可以聚合的不饱和部位的化合物、和通过加热或曝光可以产生自由基的化合物。
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