[发明专利]一种阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器无效
| 申请号： | 200810070878.7 | 申请日： | 2008-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN101261345A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 孙志军 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G02B6/34 | 分类号： | G02B6/34;G02B6/12 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器，涉及一种光学滤波器。提供一种基于目前平面微纳加工工艺可实现的阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器。设有衬底，衬底上设下层金属薄膜，在下层金属薄膜上设介质层，在介质层中间镶嵌金属光栅层，在介质层上设上层金属薄膜。金属光栅层设若干阵列单元，在不同的阵列单元内金属光栅的周期不同。因在衬底上的两层金属薄膜之间夹一层镶嵌有金属光栅的介质层，在芯片平面的不同集成单元内金属光栅具有不同的周期，从而调节了不同单元内的等效折射率。当光波通过这种阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器时，不同的阵列单元具有不同的谐振波长，于是在谐振波长附近的一定波谱宽度内形成一个透射通带，起到滤波作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 式微 谐振腔 可调 集成 光学 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器，其特征在于设有衬底，在衬底上设有下层金属薄膜，在下层金属薄膜上设有介质层，在介质层中间镶嵌着金属光栅层，在介质层上又设有上层金属薄膜，金属光栅层设有若干阵列单元，在不同的阵列单元内金属光栅的周期不同。
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