[发明专利]一种顶针模块、使用该模块分离晶片和蓝膜的方法无效
申请号: | 200810067930.3 | 申请日: | 2008-06-20 |
公开(公告)号: | CN101323152A | 公开(公告)日: | 2008-12-17 |
发明(设计)人: | 陈卢坤 | 申请(专利权)人: | 艾逖恩机电(深圳)有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D5/00 |
代理公司: | 深圳创友专利商标代理有限公司 | 代理人: | 喻尚威 |
地址: | 518055广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种顶针模块以及应用该模块分离晶片和蓝膜的方法,这种顶针模块包括顶针环、设置于顶针环内的顶针,所述顶针环设有抽真空通路,所述顶针环具有用于吸附胶膜的吸附面,所述吸附面上开设有气流孔和顶针孔,所述气流孔与抽真空通路连通,其特点是:所述顶针的一端固定在顶针环上,另一端为针尖,所述吸附面在顶针孔处为下凹面,所述针尖穿过所述顶针孔。使用中,顶针顶起晶片时,不是通过顶针针尖的向上运动刺破蓝膜,而是依靠蓝膜的相对向下运动而刺破蓝膜。本发明将顶针和顶针座合为一体,顶针和顶针座同时动作,只需采用一套驱动机构,使得结构更简单、设备体积缩小,动作次数简化,工艺时间缩短,生产效率得到提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 顶针 模块 使用 分离 晶片 方法 | ||
【主权项】:
1.一种顶针模块,包括顶针环(5)、设置于顶针环内的顶针(4),所述顶针环设有抽真空通路(6),所述顶针环具有用于吸附胶膜的吸附面(9),所述吸附面(9)上开设有气流孔(11)和顶针孔(10),所述气流孔(11)与抽真空通路(6)连通,其特征在于:所述顶针(4)的一端固定在顶针环(5)上,另一端为针尖,所述针尖穿过所述顶针孔(10),所述吸附面(9)在顶针孔附近为下凹面。
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