[发明专利]凹槽型共面波导结构的毫米波射频微机电系统双频移相器

摘要

凹槽型共面波导结构的毫米波射频微机电系统双频移相器，它涉及双频移相器。它解决了现有传统移相器功耗高、插入损耗高、可靠性差、成本高等缺点，还解决了现有同类装置激励电压大、结构复杂、较难控制谐振点的问题。本发明的介质基片(5)的宽度与信号线(2)的宽度相同，信号线(2)沿纵向方向开有n组垂直表面的凹槽，每一组凹槽对应设置在介质基片(5)的下方并至少漏出l₂长度，每一组凹槽由两个沿横向并行排列的矩形凹槽(7)组成，矩形凹槽(7)之间的距离为W₂，每一个矩形凹槽(7)的长度为l₁、宽度为G₂。本发明结构简单、条理清晰、逻辑严密，仿真结果相对理想，而且加工工艺简单，成本低廉，在两个频率下稳定工作的特点。

主权项

1、凹槽型共面波导结构的毫米波射频微机电系统双频移相器，它由n个金属桥(4)、n个绝缘的介质基片(5)和共面波导(6)组成，所述共面波导(6)包括基板(1)、信号线(2)和两根地线(3)，信号线(2)固定在基板(1)上表面的中间，在信号线(2)的两侧间隔固定有地线(3)，所述金属桥(4)周期跨在共面波导(6)的基板(1)上，所述金属桥(4)与所述信号线(2)垂直，每个金属桥(4)的两端分别固定在共面波导(6)上的两根地线(3)上，介质基片(5)固定在金属桥(4)下方的信号线(2)的上表面，其特征在于所述介质基片(5)的宽度与信号线(2)的宽度相同，信号线(2)沿纵向方向开有n组垂直表面的凹槽，每一组凹槽对应设置在介质基片(5)的下方并至少漏出l2长度，所述的每一组凹槽漏出介质基片(5)的，一组凹槽由两个沿横向并行排列的矩形凹槽(7)组成，矩形凹槽(7)之间的距离为W2，每一个矩形凹槽(7)的长度为l1、宽度为G2。