[发明专利]BLT复合玻璃相铁电薄膜的制备方法无效
申请号: | 200810059929.6 | 申请日: | 2008-03-04 |
公开(公告)号: | CN101298367A | 公开(公告)日: | 2008-11-05 |
发明(设计)人: | 王疆瑛;邬良能;江影 | 申请(专利权)人: | 中国计量学院 |
主分类号: | C03C10/02 | 分类号: | C03C10/02;C03B8/02 |
代理公司: | 杭州赛科专利代理事务所 | 代理人: | 陈辉 |
地址: | 310018浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及钛酸铋镧Bi3.15La0.75Ti3O12(BLT)铁电相复合玻璃相的溶胶,其特征在于:溶胶采用以硝酸铋、硝酸镧、钛酸丁酯、正硅酸乙酯、硼酸三正丁酯、乙二醇和氨水等为原材料,以柠檬酸为鳌合剂,铁电相组分:硝酸铋,硝酸镧,玻璃组分为铁电相摩尔数的0-20mol%,正硅酸乙酯,钛酸铋镧(BLT)复合玻璃相铁电薄膜制备方法:一、BLT复合玻璃相溶胶的配制,二、在匀胶机上甩胶,三、BLT复合玻璃相铁电薄膜湿膜的热处理和烧结。本发明提供的方法实施方便,对实验设备要求不高,成本低;为了改善薄膜性能,采用玻璃相复合技术,改变薄膜与衬底的附着力,降低薄膜的漏电流;本发明方法制备的铁电薄膜具有优良的电学性能,可用于存储器制作。 | ||
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【主权项】:
1、钛酸铋镧Bi3.15La0.75Ti3O12(BLT)铁电相复合玻璃相的溶胶,其特征在于:溶胶采用以硝酸铋、硝酸镧、钛酸丁酯、正硅酸乙酯、硼酸三正丁酯、乙二醇和氨水等为原材料,以柠檬酸为鳌合剂,铁电相组分:硝酸铋,硝酸镧,钛酸丁酯的摩尔比为Bi∶La∶Ti=3.15×(1.00-1.10)∶0.75∶3,玻璃相组分以Si-B-O系为主(摩尔比Si∶B=1∶1或Si∶B=1∶2),玻璃组分为铁电相摩尔数的0-20mol%,正硅酸乙酯,硼酸三正丁酯的摩尔比为1∶1或1∶2。
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