[发明专利]一种磁性阵列的制备方法

摘要

本发明属于电子材料技术领域，涉及平面磁性阵列器件的制备方法。先将永磁阵列母板固定于基底下表面，然后在基底上表面均匀涂覆纳米铁氧体/光敏聚合物复合材料，然后静置待纳米铁氧体磁性粒子在永磁阵列母板磁场的作用下按照母板的阵列图形排布后曝光实现纳米铁氧体磁性粒子的固化，最后去除永磁阵列模板即可得到相应的磁性阵列。本发明实质上是利用永磁阵列母板复制磁性阵列；同时，本发明利用光敏聚合物来固定磁性阵列中的纳米铁氧体磁性粒子，解决了现有技术中“因图形分辨率下降导致器件失效”的技术问题。本发明工艺简单、操作容易、无需光刻和成本低廉，适于大规模生产，在微电子、光电子、磁记录及微波器件领域中具有广泛的应用前景。

主权项

1、一种磁性阵列的制备方法，包括以下步骤：步骤1、根据实际需要，采用现有光刻工艺，制备永磁阵列母板；步骤2、将纳米铁氧体材料与固含量为5％～45％质量百分比的光敏聚合物材料均匀混合，得到纳米铁氧体-光敏聚合物的复合材料；步骤3、将步骤1所得的永磁阵列母板固定在基底介质层下表面，然后在基底介质层上表面均匀涂覆一层步骤2所得的纳米铁氧体/光敏聚合物复合材料；步骤4、静置待基底介质层上均匀涂覆的纳米铁氧体/光敏聚合物复合材料中的纳米铁氧体磁性粒子在永磁阵列母板磁场的作用下按照永磁阵列母板的阵列图形排布；步骤5、待步骤4所述的纳米铁氧体磁性粒子按永磁阵列母板的阵列图形排布好后，在步骤2所述光敏聚合物相应曝光波长的光波下曝光，实现纳米铁氧体磁性粒子的固化；步骤6、去除永磁阵列模板，即可得到相应的磁性阵列。